高性能デバイスを生産する為に、様々な新しいケミカルが登場しています。しかし、新材料が有効的に利用できるかどうかの判断には、シミュレーション試験が不可欠です。そして、実際に新材料ガスを使用して試験を行う際の供給方法や排気設備(特に排ガス処理設備)構築などのハードルが高く、お困りではないでしょうか?
このような問題をお持ちの方に弊社横浜研究所の設備を利用し擬似プロセスを行って新規材料の味見をすることをご提案いたします。
さらに、このプロセス排気分析を行うことで、どのような反応が起きているのか?どのような排気の処理が最適であるか?を検討する為の非常に重要なデータを取得することが出来ます。
現地にて装置より排出されるプロセス副生成物・排気系統排出物の確認を行います。
つまり…保安、環境保護、コストリダクションのため