立会実験

プロセスガス通気実験について

高性能デバイスを生産する為に、様々な新しいケミカルが登場しています。しかし、新材料が有効的に利用できるかどうかの判断には、シミュレーション試験が不可欠です。そして、実際に新材料ガスを使用して試験を行う際の供給方法や排気設備(特に排ガス処理設備)構築などのハードルが高く、お困りではないでしょうか?

このような問題をお持ちの方に弊社横浜研究所の設備を利用し擬似プロセスを行って新規材料の味見をすることをご提案いたします。

さらに、このプロセス排気分析を行うことで、どのような反応が起きているのか?どのような排気の処理が最適であるか?を検討する為の非常に重要なデータを取得することが出来ます。

プロセス排気ガス分析とは?

プロセス排気ガス分析

現地にて装置より排出されるプロセス副生成物・排気系統排出物の確認を行います。

プロセス排気ガス分析の主な目的

  • 合理的な排気システムの設計
  • 排気ガス処理装置の最適化
  • ガス漏洩検知システムの最適化
  • 部品材料(配管・バルブ等)の最適化
  • プロセス条件の検討材料として
  • PFC排出量の削減
  • 法律・基準の遵守

つまり…保安、環境保護、コストリダクションのため

プロセス排気ガス分析の主な目的

プロセスガス通気実験

  • 多成分素同時分析・成分濃度経時変化の確認が可能
    多成分を一度に分析することが可能であり、プロセスと平行して各プロセス排気成分濃度の経時変化を目視にて確認することができます。
  • SEMATECH PROTOCOLに基づいた分析も可能
    SEMATECHが推奨するFT-IRを用いたプロセス排気ガス分析手法”Guidelines for Environmental Characterization of Semiconductor Equipment”に則った分析が可能です。